标签： 对准站

12 月 13 日消息，尼康本月 11 日宣布该企业正在加速推进新一代半导体工艺设备锐布 Litho Booster 1000 对准站的开发工作，计划于 2026 年下半年正式上市。 锐布 Litho … Continue reading 尼康正开发锐布 Litho Booster 1000 对准站：可提升晶圆键合套刻精度