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《科创板日报》7日讯，ASML全球执行副总裁、中国区总裁沈波在接受《科创板日报》记者采访时表示，尽管EUV已成为多数逻辑和存储关键层的光刻技术标准，但DUV仍是芯片成像主力。“从整个产业发展的角度，即 … Continue reading ASML中国区总裁沈波：DUV仍是芯片成像主力