晶盛机电：12英寸碳化硅衬底送样验证 8英寸获海内外批量订单

每经AI快讯，4月14日，晶盛机电(300316.SZ)发布投资者关系活动记录表公告，在半导体装备领域，12英寸常压硅外延设备实现小批量销售，关键指标达到国际先进水平；12英寸减压外延生长设备顺利实现销售出货并取得重要客户复购。化合物半导体装备方面，8-12英寸碳化硅外延设备及减薄设备顺利取得客户订单；碳化硅氧化炉、激活炉及离子注入等设备客户验证进展顺利。材料业务方面，公司成功建设12英寸碳化硅衬底加工中试线，并向产业链客户进行送样验证；8英寸碳化硅衬底在全球客户验证进展顺利，成功获取海内外客户的批量订单；12英寸光学级碳化硅衬底研发取得突破并小批量生产。