标签： 光刻机

8月14日，据杭州经信消息，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地首批签约孵化的项目之一——首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此 … Continue reading 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

财联社8月14日电，据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场，浙大 … Continue reading 全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”