感谢网友 西窗旧事 的线索投递！ 8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际 … Continue reading 精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
感谢网友 西窗旧事 的线索投递！ 8 月 14 日消息，据杭州日报报道，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来重大喜讯：全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度与国际 … Continue reading 精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”