标签： 全景光刻

11月6日，界面新闻记者在第八届进博会ASML（阿斯麦）展台上了解到，其今年重点对外展示了面向主流芯片市场的全景光刻解决方案，融合光刻机、计算光刻和电子束量测与检测技术。 ASML全球执行副总裁、中国 … Continue reading 聚焦主流芯片市场，ASML进博会展示全景光刻解决方案