标签： 刻蚀设备

财联社3月25日电，据中微公司消息，在SEMICON China 2026期间，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）宣布推出四款覆盖硅基及化合物半导体关键工艺的新产品，包括新一代电感 … Continue reading 中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备等四款新产品