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《科创板日报》22日讯，比利时微电子研究中心（IMEC）已成功利用阿斯麦最先进的极紫外光刻（EUV）设备，实现了纳米孔的全晶圆级制造，纳米孔的特性在生物医学领域极具研究价值。阿斯麦公司公关负责人将此称 … Continue reading 阿斯麦EUV光刻机实现纳米孔全晶圆级制造