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《科创板日报》8月15日讯（记者 郭辉） 据杭州市余杭区官方信息平台“余杭发布”消息，日前，该区一重点项目——首台国产商业化电子束光刻机进入应用测试。 据浙大量子研究院相关团队负责人介绍，其自主研发的 … Continue reading 首台国产商业化电子束光刻机启动应用测试 业内：效率仍待突破 并非EUV替代路线